產品介紹：X、Y、Z三軸均采用HCFA伺服電機、全采用雙重閉環運動控制、可保證電機在中、高速動動時的穩定性和準確的定位功能。Z軸配備自動變焦鏡頭，選配鐳射、探針組，可實現2.5D尺寸測量。
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產品規格及參數
型號/規格參數 | SMU-3020EA(2.5D) | |
工 作 臺 | X/Y軸行程 | 300mm ╳ 200mm |
Z軸行程 | 調焦行程200mm，工作距離90mm (可根據客戶要求定制加高) | |
大理石 臺面尺寸 | 460mm ╳ 360mm | |
玻璃臺面尺寸 | 350mm ╳ 250mm | |
傳動型式 | X/Y/Z軸：采用高精度直線導軌+絲桿； X/Y/Z三軸進口軸承 | |
光學尺分辨率 | X/Y/Z三軸：0.001mm | |
XY測量線性精度 | 3+L/200(μm) | |
XY重復性精度 | 0.003mm | |
驅動電機 | 高性能CNC伺服電機 | |
攝像機 | 千兆網彩色工業數字相機 | |
測量軟件 | 全自動影像測量軟件，編程操作簡單，易上手 （測量數據可按客戶報表格式導出或導入MES、QMS系統） | |
鏡頭 | 自動變倍鏡頭 光學放大倍率0.7-4.5X，影像放大倍率20-128X 可通過選配0.5X/2X物鏡，實現放大倍率10-64X/40-256X | |
可選配 | 同軸光、激光定位導航 | |
探針、激光鐳射頭(測量工件高度) | ||
光源系統 | 表面光源：5環8分區LED冷光源、壽命長、亮度255級可調 | |
底光源：LED白色冷光源、壽命長、亮度255級可調 | ||
儀器外形尺寸（L*W*H） | 850mm ╳ 1500mm ╳ 1600mm | |
儀器重量 | 150kg | |
儀器工作環境
1、溫度與濕度：
溫度：20－25℃，最佳：22℃; 相對濕度：50％－60％，最佳：55％; 機房最大溫度變化率：10℃/小時; 北部地區氣候干燥，建議使用加濕器; 南方地區氣候潮濕，建議使用去濕器
2、工作室熱量計算：
·保持工作室內設備系統操作于最佳溫度、濕度空間，必須計算室內總散熱量，其中包括室內設備儀器散熱量總和（燈光普通照明燈可忽略不計）
·人體散熱量：600BTY/小時/人
·工作室散熱量：5/平方米
·儀器放置空間（L*W*H）：2200mm ╳ 2000mm ╳ 2000mm
3、空氣含塵量：
機房應保持清潔，空氣中大于0.5MLXPOV的雜質在每立方英尺不多于45000個，若空氣灰塵過多，很容易造成資源讀寫錯誤及磁盤機中磁盤或讀寫磁頭毀損。
4、機房顫動度：
機房內顫動度不得高于0.5T，機房內產生震動的機器避免放置在一起，因顫動將使機器內機械部分、接頭、主機面板接觸部分產生松動,而造成機器不正常。
三、電源：
AC220V/50HZ AC110V/60HZ
137-1264-9957
400-0769-188
